? 中小型擴股互高直空抽氣機組一般配備有儲氣罐,設(shè)定在擴散泵和前級泵中間,存儲擴夏排出來的氣休,設(shè)定儲氣罐的緣故以下? ①因為必須抗震而設(shè)定儲氣罐,超濾裝置工作中時,一些加工工藝全過程規(guī)定嚴苛抗震,因而? 必須機械泵在一段時間內(nèi)停止工作,在這段時間內(nèi),擴散泵排出來的汽體統(tǒng)統(tǒng)存儲在供氣? 中,供氣替代機械泵保持擴散泵一切正常工作中? 這類主要用途的儲氣罐的容積V為
(3-28)式中Q—在機械泵停止工作的時間內(nèi)擴散泵的排量,PaL/s
—機械泵停止工作的時間,也就是規(guī)定儲氣罐工作中的時間,s
擴散泵臨界值前級壓力,或歷經(jīng)時間t后,儲氣罐中所容許的較大壓力,Pa
p—機L械泵工作中時擴散泵的前級壓力,或t=0時,儲氣罐內(nèi)壓力,Pa? 比如某加工工藝加工過程中,發(fā)電機組的排量為10-1Pa·L/s,規(guī)定機械泵正中間停止工作1h? 必須前級儲氣罐的容積多少?擴散泵前級抗壓取10Pa,一切正常工作中時前級壓力為7×10-Pa? 將Q=10-12·L/s,t=3600,p1=10Pa,p=7×10-1Pa帶入公式計算(328)得

38.7(L)? 10-7×10
②為了更好地減少工作中周期時間而設(shè)定儲氣罐。一些生產(chǎn)工藝流程規(guī)定不在關(guān)掉擴散泵電加熱器的狀況? 下,真空室放入空氣獲得元器件、放料。放料后用機械泵預(yù)抽真空室,這段時間內(nèi)運用儲氣罐來保持擴散泵工作中。? ③為避免 真空室內(nèi)瞬時速度很多放氣危害擴散泵一切正常工作中而設(shè)定儲氣罐。加工工藝生產(chǎn)制造中某? 一段時間內(nèi)放供氣量尤其大,但時間較短,若按這時的較大 排量配機械泵很不經(jīng)濟發(fā)展,那樣可? 配備前級儲氣罐,在較大 放供氣量時存儲一部分汽體,以防止擴散泵前級壓力超出臨界值前級壓力。? 前級儲氣罐體積計算公式同式(328)。但設(shè)計方案這類前級罐時,應(yīng)考慮下邊表達式

(3-2式中U—儲氣罐到擴散泵出入口管路的流導(dǎo),L/s
V儲氣罐容積,L
1—儲氣罐上班時間,s
p—擴散泵臨界值前級壓力,Pa
p1—發(fā)電機組一切正常工作中時,擴散泵前級壓力,Pa
④用以平穩(wěn)擴散泵出入口壓力而機器設(shè)備儲氣罐。機械泵排氣管是單脈沖的,盡管頻率不高(? 般為7次/s上下),也會造成擴散泵出入口壓力的起伏,設(shè)定儲氣罐可降低這類起伏。? (2)預(yù)抽泵? 預(yù)抽泵(粗抽泵)關(guān)鍵用于抽除真空室中的很多汽體,使真空室標準氣壓由1×105Pa降至? 主閥可以起動工作中時的真空值,因而,規(guī)定預(yù)抽泵所做到的壓力低于主閥的起動工作中壓力,? 預(yù)抽泵(如機械泵)的泵效尺寸由粗擠時間決策。從公式計算(3-15)導(dǎo)出來

v. Pi? Sp-2. 3Kg-Ig-(L/s)? 式中
預(yù)抽泵的為名泵效,L? V真空室容量,? p1開始抽真空時的真空室壓力,一般為1×105Pa? p主泵起動壓力(或預(yù)抽完畢時壓力),Pa;? 修正系數(shù);? K? t—預(yù)抽泵的抽真空時間,針對容量V<1米3,取t=10~20min;中等水平容量V=2? 4m3,取20~30min;大中型容量,即V>5m3的真空室,取t=30~60