? 濺射離子泵的放電模塊中,從第一個電子器件到繁流電子密度做到(約1010個電
子/cm3)恒定值的時間r,稱之為啟動時間,它是濺射離子泵的一個關(guān)鍵主要參數(shù)。啟動? 時間的長度在于啟動壓力,在10-1Pa下,放電模塊的啟動時間為幾納秒,壓力? 在10-Pa下的啟動時間將長達5008,覆射離子泵的放電特點見圖241,因而,圓? 射離子泵的啟動壓力不可以太高,也不可以過低,濺射離子泵啟動艱難的緣故有下列

幾個方面,
(1)啟動壓力過高? 濺射離子泵一切正常啟動壓力要小于10-1Pa。在1~10-Pa壓力范疇內(nèi),陽極氧化單? 元放電主要是輝光放電,這類壓力下受電路的限定,工作電壓很低,啟動電流量很? 大,啟動受電路的限定。伴隨著壓力的減少,從輝光放電慢慢銜接到潘寧放? 電,放電電流量隨壓力的減少而降低,工作電壓慢慢修復(fù)到額定電流(一般為6~9kV)? 高過1Pn啟動,務(wù)必尤其當(dāng)心,由于高壓力下啟動,離子流強,使抽真空模塊發(fā)? 熱,會造成原來吸咐在鈦膜內(nèi)的汽體很多釋放,放空氣又造成更強的離子流,使抽
氣模塊溫度進一步上升,那樣的兩極化,可能快速產(chǎn)生負極“穿透”。即便 泵
原來的抽供氣量較小,放氣速度不高,也會因髙壓下泵的泵效小,導(dǎo)致說白了的“緩
慢啟動”。
過高的啟動壓力,造成泵內(nèi)部件發(fā)燙放氣導(dǎo)致的啟動艱難,能用高機械泵作前面泵減少啟動壓力的方法加以解決。國內(nèi)濺射離子泵的生產(chǎn)商得出的啟動壓力范? 圍小于5×10-4~7×10-5Pa。
(2)真空泵器皿容積過大
容積過大造成啟動時間太長,能換用泵效更高的預(yù)抽泵,必需時在預(yù)抽環(huán)節(jié)加? 熱烤制器皿,清除器皿內(nèi)很多排氣后再啟動離子泵? (3)泵在濕冷空氣中停車時間太久
濕冷自然環(huán)境標準,或是泵清理后初次運行,因為泵內(nèi)各構(gòu)件消化吸收了很多水份,造? 成啟動艱難,解決方案可在預(yù)抽真空的另外加溫烤制。除此之外,平常應(yīng)當(dāng)留意泵終止運? 轉(zhuǎn)期內(nèi)盡可能不曝露空氣。若因拆換產(chǎn)品工件短期內(nèi)曝露空氣,能用預(yù)抽泵提成低真空泵
(4)預(yù)抽機械設(shè)備油閥環(huán)境污染
前面真空泵的油蒸汽環(huán)境污染了鈦負極板也會使啟動艱難。可在空氣里加? 熱,400℃烤制2h,消除油空氣污染物。較好是的方式是盡可能選用隔膜真空泵前面泵作預(yù)