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?? 超高真空校準? 超高真空計是超高真空全壓力精確測量的關鍵專用工具，為了更好地獲得精確的精確測量結果，必? 須對真空計開展校準以確保在超高真空標準下運用的可信性。除此之外，針對冷陰極電? 離規(guī)的離散系統(tǒng)，雖然生產(chǎn)商作了線形解決，但如果不開展校準仍會產(chǎn)生非常大誤? 差。熱陰極水解規(guī)在線形檢測范圍需要做到測量精度也必須開展校準。校準是在專? 門的超高/極高真空校準系統(tǒng)軟件中開展的?，F(xiàn)階段選用的校準系統(tǒng)軟件有：分子結構束法校準系? 統(tǒng)、壓力衰減系數(shù)法校準系統(tǒng)軟件、流導調(diào)制法校準系統(tǒng)軟件和分流法校準系統(tǒng)軟件。? 圖4-12所顯示為選用分流法和壓力衰減系數(shù)法的非常高/超高真空校準設備，包含：極? 高真空系統(tǒng)軟件、超高真空系統(tǒng)軟件、總流量分流系統(tǒng)軟件和氣路系統(tǒng)軟件。分流法是將已經(jīng)知道總流量汽體? 導入分流室，根據(jù)分流室2個流導相距非常大的小圓孔(流導比約為100:1)分流到? 極高真空校準室和超高真空校準室。在動態(tài)性標準下極高真空校準室的壓力p為：

4-10)? p=QC(1-R)(1+Rc)? 式中Q讓人分流室氣體壓力，Pa·m/? Rn極高真空系統(tǒng)軟件抽真空限定孔返流? C-—極高真空系統(tǒng)軟件抽真空限定孔流導，m3/s;? Rc—分流室分流小圓孔流導比(注入超高真空室小圓孔流導和注入極高真空室? 小圓孔流導之比)

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式中的各主要參數(shù)R、C、Rc均能夠根據(jù)試驗精準測量，Q能夠由精細微蒸汽流量計? 得出。運用校準室壓力能夠?qū)Ρ恍室?guī)開展肯定校準? 在沒有蒸汽流量計的標準下，能夠向分流室充進一定壓力汽體，根據(jù)小圓孔向非常高真? 空校準系統(tǒng)軟件打氣，穩(wěn)定平衡后極高真空校準壓力被衰減系數(shù)為? p=pC1/C(l-Rp

(4-11)? 式中p穩(wěn)定平衡時分流室壓力(規(guī)范壓力規(guī)精確測量),Pa;? 分流室流入校準室小圓孔流導，m3/s;? 該校準設備的關鍵性能指標為：校準室極限壓力，極高真空校準室為7.9? 10-0Pa,超高真空校準室為2.3×10-9Pa;校準壓力范疇，分流法2.1×10? 7.9×1010Pa,壓力法2.1×10-4~2.3×10-9Pa;不確定度低于0.41%~3.5%? 運用該設備對反磁控冷陰極計和熱陰極超高真空計開展校準得出修正系數(shù)和指數(shù)? 壓力曲線圖。校準時間約為7天(包含規(guī)持續(xù)校準2天時間)。? 為了更好地考慮常見的超高真空水解計的校準規(guī)定，一般選用核對的相對性校準方式? 該方式具備校準設備構造簡易、實際操作便捷、校準高效率和應用性強等特性。比對法? 超高真空校準設備如圖4-13所顯示，校準系統(tǒng)軟件選用圓柱型構造，由抽制動氣室和校準室? 構成，兩室中間選用一個圓洞限定流導。被校規(guī)和參照規(guī)各自安裝在校準室地球赤道線? 的對稱性部位上。參照規(guī)采用IE514分離出來規(guī)，該規(guī)在非常高/超高真空校準設備上開展? 壓力肯定校準，不確定度1.8%。核對校準系統(tǒng)軟件的性能指標為：校準系統(tǒng)軟件極限壓力? 5×10-9Pa、壓力校準范疇10-7~10-5Pa、拓展不確定度≤10%(k=3)。

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