?????? 彎注抑制規(guī)如圖4-3所顯示，由負(fù)極、電子器件加快柵極(加快極)、離子聚焦點(diǎn)極、? 輔助陽(yáng)極氧化、抑制極、離子搜集極、內(nèi)偏轉(zhuǎn)極、外偏轉(zhuǎn)極和屏蔽罩構(gòu)成。由負(fù)極、電? 子加快柵極組成規(guī)的水解系統(tǒng)和由屏蔽罩抑制極和離子搜集極組成離子搜集系統(tǒng)。? 在水解系統(tǒng)和離子搜集系統(tǒng)中間，設(shè)定了一個(gè)90°離子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)包含聚? 焦極，內(nèi)、外偏轉(zhuǎn)極。? 規(guī)的原理為：規(guī)管中被測(cè)汽體分子結(jié)構(gòu)在柵極框被水解為正離子，離子被離? 子聚焦點(diǎn)極引出來(lái)并聚焦點(diǎn)后經(jīng)靜電感應(yīng)偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)偏轉(zhuǎn)90°后進(jìn)到離子搜集系統(tǒng)。該構(gòu)造使? 加快極造成的軟X射線不可以立即照射搜集極的表層，另外x放射線的反射面一部分? 也因歷經(jīng)數(shù)次往返才可以到達(dá)而大幅變?nèi)酢４送猓驗(yàn)橛衅帘握趾鸵种茦O的存有，? 還能夠?qū)π∫徊糠周沊射線造成的光電流開展抑制，使光電流的危害進(jìn)一步減少? 在理論上彎注抑制規(guī)的精確測(cè)量低限比抑制規(guī)低2個(gè)量級(jí)，做到10-12Pa。但因?yàn)? 高溫鎢絲存有，負(fù)極的蒸汽壓和排氣速度都很有可能危害低于10-1Pa工作壓力的得到 。? 除此之外，極間電級(jí)走電及弱電流量精確測(cè)量等難題，彎注抑制規(guī)的具體精確測(cè)量低限為? 10-1Pa。輔助陽(yáng)極氧化的功效是供偏轉(zhuǎn)電級(jí)開展電子器件負(fù)電子除氣而用。除氣輸出功率約為? 700V×200mA。? 現(xiàn)階段，彎注抑制規(guī)是極高真空泵規(guī)中較好是的一種規(guī)型，特性平穩(wěn)靠譜。在沒有極? 高真空泵校正系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)下，大多數(shù)以彎注抑制規(guī)的讀值做為工作壓力標(biāo)準(zhǔn)值。? 彎注抑制規(guī)的電主要參數(shù)一般挑選為：加快工作電壓VA=200V;負(fù)極對(duì)地工作電壓VK? 25V;V
450V。Vc=Vsh=VE=0(地電位差)。鎢絲發(fā)送電流量? 340V: VD? 。=1mA;規(guī)管指數(shù)為0.15Pa-

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